3100質量流量計

商品介紹：品牌 KOFLOC 型號 3100 類型 質量流量計 測量範圍 0.0006-1.2（m3/h） 精度等級 ±1.0%F.S 發貨期限 10天內發貨 適用介質 氣體 工作壓力 0.98（MPa） 工作溫度 0-50（℃） 產品說明 F.S.流量 N2換算 10SCCM-20SLM 3100 30SLM-100SLM 3105 應 答 性 應答速度≤1秒 精 度 ±1.0%F.S.以內 （3100） ±1.5%F.S.以內 （3105） 線 性 ±0.5%F.S. 再 現 性 ±0.2%F.S. 耐 壓 980KPa 泄 露 率 1 × 10–8Pa m3/second或更小 操作溫度 0～50°C 接觸介質的材質 本體: SUS316L，SUS316，PTFE 密封墊:Viton 連 接 標準：1/2SWL，（3/8 SWL） 可選：1/8SWL，1/4VCR，RC1/4 電氣連接 9針插座 輸出信號 0-5VDC 電 源 +15 VDC (±5%) 100 mA，-15 VDC (±5%) 100 mA 適用於半導體等行業氣體檢測